整个无尘室是一个比较庞大的系统，这个系统的庞大不仅仅是体现在厂房面积的庞大，更是体现在各个系统之内的功能和结构的划分上。各种不同功能的房间，各种不同性能的净化设备等等一起组成了一套无尘室。但是这么多这么复杂的系统也还是有可能导致无尘室中的尘埃量不合格。其主要体现在无尘室中房间的密封性、尘埃过滤设备的质量和安装方式、房间在装修完成后的清洁工作等。
    而在无尘室完成后对于房间密封性的检查实际上可以说是较为重要的环节，连接洁净室的管道等设备在建设无尘室的时候就首要保证密封性；而尘埃过滤装置质量不过关或者安装不正确则会导致送进净化房间内的空气尘埃没有得到有效的排除。上述这些原因很值得无尘室中操作人员的注意。