现有的电子无尘室净化工程采用的空气净化装置主要包括回风管、送风管、空调和空气净化器，回风管的出风端与空气净化器的进风端连接，空气净化器的出风端与空调的进风端连接，空调的出风端与送风的进风端连接，外界的空气经过空气净化器净化后再通过空调制冷，然后通过送风管出入无尘室内。由于回风管只通过一个回风口回风，使得无尘室内的各个角落的空气净化不均匀，导致整个电子无尘室内空气清洁度达不到万级要求。
    目前，万级电子无尘室净化工程施工过程采用了一种新的空气净化装置。回风管设置有多条回风支管，每条回风支管的进风端均设置有进风盒，使得电子无尘室内的各个角落的空气净化均匀，有效的克服现有技术的不足。使整个电子无尘室的空气清洁度达到万级要求。

电子工程十万级净化车间